TORAY氧气浓度分析仪MS-500

TORAY氧气浓度分析仪MS-500半导体、液晶、电子部品关连用途

MS-500 机器仕様
测定原理 ジルコニア浓淡电池式
形状 分离型（変换器：壁挂式、センサ：直挿式）
表示方式 デジタル4桁表示(浓度表示)
测定レンジ 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20～10-0atm
自动レンジ
缲返性 ±0.5%FS以内 0-1%レンジ以上
±1%FS以内または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満
0-1ppm,atmレンジは浓度保証范囲外
测数 1～8
サンプルガス条件 圧力 10-3～200KPa（絶対圧）
流量 0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散状态の测定)
湿度 露点が周囲温度以下
温度 0～100℃
その他 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有机シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比较ガス 大気
记録计出力 伝送出力のみ
伝送出力 RS-232C
警报出力 なし
ウォームアップ时间 6分以内
寸法 MS-500(コントローラ) 92(W)×44(H)×120(D)　(突起部含まず)
MS-510(変换机) 100(W)×40(H)×88(D)　(突起部含まず)
センサユニット SD16NW 全长100mm(センシング部Φ11×39,胴体部Φ40×51)
SD25NW 全长100mm(センシング部Φ11×42,胴体部Φ40×48)
SD40NW 全长100mm(センシング部Φ11×41,胴体部Φ40×49)
质量 MS-500(コントローラ) 约0.6Kg
MS-510(変换器) 约0.5kｇ
センサユニット SD16NW 约0.2Kg
SD25NW 约0.2Kg
SD40NW 约0.35Kg
外部接続 真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか
使用电源 24VDC±10%